表1にSiエ ッチングに用いる反応ガスの例を示す0 ハロゲン原子FClBrと の化学的な反応自発反応 によるエッチングはA活 性種の基板表面への吸着 B吸着活性種の表面層への侵入とそれに続く基板原子 との反応層の形成お よびC安 定で揮発性の高い反応. ドライエッチング 3 反応性イオンエッチング RIE エッチング.
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がわかるエッチング反応を考える場合の参考として 酸化剤として利用できそうな化学種の酸化還元反応を 金が関係する反応と同時に表1に示すこれらの反応式 金属エッチング液 金属の腐食反応 金属Mのアノード酸化反応 MMn ne E0 a1.
. 反応性イオンエッチング はんのうせいイオンエッチングReactive Ion Etching. ドライエッチング 1 化学エッチング. エッチング速度及び高温のリン酸浴処理のSiNSiO 2 選択比はどちらも浴内に溶解したシリコンの存在によって劇的に影響を受ける実際にはこれは新鮮な化学物質を注入して後浴の特性が安定する前に少なくとも1バッチのダミーウエハを処理し.
2쎿エッチング現象 ここではエッチングの基本的な事項を解説する工業的 にエッチングを利用する場合には高速かつ広範囲の現象を 論じる場合が多く原理的な内容が見えにくいことが多い しかし新たな展開を考える時には重要な事柄である. 31 シリコン酸化膜のウェットエッチング反応 フッ酸を含むエッチング液で酸化膜をエッチングする 反応はなんらかのエッチング種がSio結合を切り Si原子がFを含む種でアタックされフッ化物となっ て溶解する過程でありオーバーオールには①式. 図1 Siの等方性エッチングと化学反応式 画像のクリックで拡大表示 硝酸は水や亜硝酸HNO 2 と反応して亜硝酸とホールhを発生しこのホールがSiを酸化する.
JPH05275392A JP9889592A JP9889592A JPH05275392A JP H05275392 A JPH05275392 A JP H05275392A JP 9889592 A JP9889592 A JP 9889592A JP 9889592 A JP9889592 A JP 9889592A JP H05275392 A JPH05275392 A JP H05275392A Authority JP Japan Prior art keywords gas etching plasma semiconductor substrate active species Prior art date 1992-03. 化膜をSiN膜 と記される場合が多く本報告でもその表 現に従うことにするまた SiN膜 中にはシリコンと窒 素以外の物質が含まれていることが知られているそ の 代表は水素と酸素であり SiN膜 の性質はこれら不純物. 単結晶Si多結晶Si のエッチングにはエッチング液としてHNO 3 HF 硝酸とフッ 酸の混合液を用いる硝酸はSi の酸化反応フッ酸は酸化シリコンの溶解物質への 化学変化反応を行なう化学反応式は次のように示される Si HNO 3 H 2 O SiO 2 HNO 2 H 2.
①②式と③④式に示した反応の違いは等方性 エッチングではSiの酸化物を溶解する反応であるが 異方性エッチングではSiを溶解する反応であるとい うことであるこの反応の違いからKOH水溶液を 用いて等方性エッチングを行うためにはSi表面に酸. いるSiCGaNのエッチング技術や独自の低温成膜用プラズマCVD装置を最新の技術データとともに紹介いたします ご来場くださるお客様に満足頂ける展示となるよう準備を進めてまいります 会 期 4月23日月26日木. ング反応生成物壁からの不純物マスク材料からの物質 などが含まれ基板表面へ入射し吸着堆積などの過程 を通じてエッチング表面反応に影響を及ぼす47この ような反応ガス以外に起源を有する反応粒子もモデリン Source Rolein SurfaceReactions.
ドライエッチングの両方の手法を用意している エッチングを行う際には必要なパターン精度やマスク 材料被エッチング膜その下地となる膜の組み合わせな ど状況に合わせてエッチングの手法や条件を選択するこ とが重要となる シリコン酸化膜. それぞれのエッチング反応に基づき検討した hfhno3を 用いた単結晶siの 等方性エッチングは以 下 に示す2つ の反応式により記述されるすなわち硝 酸による siの酸化反応およびフ ッ酸による酸化物の溶解反応である6 si十2hno3sio2十2hno21.
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